详细介绍
三、规格参数:
坐标测量行程: X坐标:0—200mm Y坐标:0—100mm
方工作台测量工作zui大高度: 140 mm
仪器zui大载重:40kg
X、Y坐标测量系统:Renishaw精密光栅系统,分辨率0.2μm
X、Y 坐标示值准确度:(1+L/100)μm L:被测长度,单位为mm
角度分度系统:Renishaw精密环形光栅,分辨率5″
分度头角度测量准确度:30″
显微镜立柱角度倾斜范围:±12°
物镜:
物镜放大率 | 物镜工作距离(㎜) | 屏幕图象放大率 | 屏幕图象范围(㎜) |
1× | 82 | 40× | 1/2″≈5.2×4.1 |
1/3″≈4.1×3.1 | |||
3× | 70 | 120× | 1/2″≈1.7×1.4 |
1/3″≈1.4×1.0 | |||
5× | 49 | 200× | 1/2″≈1.0×0.8 |
1/3″≈0.8×0.6 |
目镜:目视及CCD两用系统
摄像系统高分辨率工业CCD:日立1/3″黑白(或彩色)象素数795×596
辅助寻象系统:高亮度半导体激光器
可选购具有Renishaw精密光栅系统分辨率0.2μm的测高装置,测量范围100mm
仪器主机外型尺寸(mm):1300 × 1250 × 800
仪器主机总重:450kg