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安川电机开发高速、高精度薄型线性滑台

2010年10月15日 10:46:14来源:技术在线点击:5872

  安川电机日前开发成功了利用高速、高精度线性伺服马达驱动控制短程可动范围的“Σ-Trac-μ系列”薄型线性滑台,将于2004年1月21日上市。随着结构的小型化及精度的不断提高,分别购买线性马达和导板将其组合到一起,就可解决无法实现最佳尺寸和精度的问题。

  尤其是嵌入到X-Y平台上时能够大幅缩小装置体积。体积是采用该公司30W旋转马达时的约1/3。由于没有机件槽,且采用了高分辨率编码器,因此可实现0.078μm最小分辨率。如果与高性能伺服传动装置配合使用,能够实现0.5μm以下的亚微米级定位。主要用途除半导体制造设备、电子元件封装设备和液晶制造设备外,还可用于检测装置,以及医疗器械械有关的光学系统驱动等。价格方面,标准成套产品为46万~48万日元(约合人民币3.5万~3.7万元)。

(来源:技术在线)


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