上海微电子：借助前人经验 加速中国光刻机研发

　　【机床商务网 国内新闻】去年，一台价值1.06亿元设备经空运从荷兰飞抵厦门，由于该设备价值高，而且对保存和运输有着很高的要求——保存温度必须保持在23摄氏度恒温状态下，为了避免影响设备的精度，在运输中也对稳定性有极高的要求。因此，机场海关以机坪查验的方式对该货物实行全程机边监管，待货物装入特制温控气垫车后移至海关的机坪视频监控探头之下，在完成紧急查验后当晚就放行。
 

　　没错，这台设备就是荷兰ASML的光刻机。铁流猜测，这台设备很有可能是厦门当地政府与中国台湾联华电子合资的晶圆厂从荷兰ASML采购的。不过，由于西方瓦森纳协议的限制，中国只能买到ASML的中低产品，这一点从厦门当地企业进口的光刻机报价仅1亿人民币就可以看出来了。
 

　　目前，光刻机领域的老大是荷兰ASML，并已经占据了高达80%的市场份额，垄断了光刻机市场，日本尼康在光刻机上完全被ASML击败，即便尼康的ArF光刻机售价仅为ASML的一半也无补于事。Intel、台积电、三星用来加工14/16nm芯片的光刻机都是买自ASML，格罗方德、联电以及中芯等晶圆厂的光刻机主要也是来自ASML。
 

　　更关键的是，先进的EUV光刻机仅有ASML能够生产，ASML在去年第三季度和第四季度出售的两台EUV光刻机售价都超过1亿美元，落后EUV一代的ArF光刻机平均售价也在4000万至5000万欧元左右，从高企的报价和EUV光刻机仅此一家出售可以看出，光刻机的技术门槛极高，是人类智慧集大成的产物。
 

　　相比之下，国内光刻机厂商则显得非常寒酸，处于技术的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能好的是能用来加工90nm芯片的光刻机，技术差距说是鸿沟都不为过，正是因此，国内晶圆厂所需的光刻机完全依赖进口。
 

　　据消息人士披露，上海微电子订了一批Bumotec机床。Bumotec是瑞士斯达拉格旗下的子品牌，能制造的加工光学仪器的机床，据说比ASML用的德国机床还好点——一般人耳熟能详的那些机床，和斯达拉格不是一个世界的，斯达拉格专攻高精尖制造领域的制造设备，所以知道这个公司的人非常少。但名气小不意味着技术就不。
 

　　在本土机床还存在一定技术差距的情况下，通过这种方式有助于提升中国光刻机的研发进度和技术提升。诚然，在采购瑞士机床的同时，国内也要做好国产化替代工作，实现两条腿走路。
 

　　另外，关于上微和ASML合作的消息，有朋友在微信上留言，怀疑上微是不是要当伪军，但其实并非如此。主要是上微的一些技术和ASML的比较那个啥，然后ASML就打官司，但一直没结果，中国政府也在中间协调。后ASML搞的很烦了，索性就以合作的名义，拿一笔钱，就不打官司了。所以这个合作并不意味着上微要当伪军。而是继续走自主研发之路，只不过在前行之中可能会借鉴一些前人探索出来的捷径。

    （原标题：上海微电子采购Bumotec机床 加速中国光刻机研发）